金剛砂攪拌器提高金剛砂晶片的切割和研磨質(zhì)量
發(fā)布時(shí)間：2022-05-17 16:05:51 瀏覽
次
金剛砂攪拌器提高金剛砂晶片的切割和研磨質(zhì)量
金剛砂是晶圓切割和研磨過程中的主要研磨材料，與懸浮劑按比例混合后。金剛砂是否均勻分布在懸浮劑中，將直接影響研磨和切割質(zhì)量。
在晶圓切割和研磨工廠，許多機(jī)器經(jīng)常同時(shí)工作，以提高效率和產(chǎn)量。目前，在晶圓切割和研磨過程中，操作人員主要是按照操作說明書中的比例要求給每臺(tái)切割或研磨機(jī)分配金剛砂切割和研磨液，沒有時(shí)間讓金剛砂與懸浮液充分融合，金剛砂與懸浮劑的比例是任意的，不能保證切割晶圓的平行度和平滑度；研磨晶片時(shí)，不能保證機(jī)器的浸沒速度一致。由于金剛砂與助懸劑沒有完全結(jié)合，晶圓研磨時(shí)容易出現(xiàn)劃痕和條紋，金剛砂容易沉淀，使得助懸劑中金剛砂的比例在沉沒和切割過程中發(fā)生變化，影響產(chǎn)品質(zhì)量，造成金剛砂的浪費(fèi)
為解決上述不足，提出一種金剛砂攪拌器，具有一側(cè)壁下方設(shè)置有水籠頭的桶體，其特征在于：桶體上方設(shè)置有電機(jī)，電機(jī)下方聯(lián)接伸入桶體內(nèi)的攪拌軸，攪拌軸下方連接攪拌框。
攪拌架的平面與攪拌軸軸向平行。
攪拌架內(nèi)設(shè)有多個(gè)攪拌棒。
攪拌棒與攪拌軸軸向平行。
該金剛砂攪拌器能為多臺(tái)切割和研磨設(shè)備提供混合均勻的、比例一致的金剛砂懸浮溶，保證金剛砂的不沉淀，提高了晶片的切割和研磨質(zhì)量。
